Metrologie mit Synchrotron-Strahlung
Prof. Dr. Gerhard Ulm
Physikalisch Technische Bundesanstalt Berlin
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Elektronenspeicherringe sind fast ideale Strahlungsquellen für die Metrologie mit elektromagnetischer Strahlung, insbesondere für die Radiometrie (Strahlungsmesstechnik) vom UV bis in den Röntgenbereich. Speicherringe emittieren berechenbare Synchrotronstrahlung, sie stellen damit primäre Strahlernormale dar. Im Vortrag werden anhand des als europäisches Zentrum genutzten Labors der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt an dem Speicherring BESSY II die grundlegenden Mess- und Kalibrierprinzipien und Anwendungen vorgestellt. Arbeiten zur Entwicklung der EUV-Lithographie bilden einen besonderen aktuellen Schwerpunkt. Der Stand der Planung eines für die Metrologie dedizierten Niederenergie-Speicherring, der Metrology Light Source, wird beschrieben.